特許
J-GLOBAL ID：200903005707386042
イメージセンサーの検査方法および検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169702
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014501
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 イメージセンサー内の異物の存在を検出する。【解決手段】 平行光PBにより照射された場合のイメージセンサーISの出力により、感度不均一性と異物の存在がわかり、拡散光DBにより照射された場合のイメージセンサーISの出力により感度不均一性がわかる。したがって、これらの出力により、イメージセンサーIS内の異物の存在を検出できる。
請求項（抜粋）：
光強度分布に対応した画像信号を出力するイメージセンサーに対して一様な照度の平行光束を照射した場合の第1の出力と、前記イメージセンサーに対して一様な照度の拡散光束を照射した場合の第2の出力とに基づいて、前記イメージセンサーの受光部上に異物が存在しているかどうかを検査することを特徴とするイメージセンサーの検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 D
