特許
J-GLOBAL ID:200903005708615347

ダイヤモンド/水素を含む電極アレー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 沢田 雅男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-352003
公開番号(公開出願番号):特開平11-265654
出願日: 1998年12月11日
公開日(公表日): 1999年09月28日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】電子放出が電極表面領域全体に渡って一様に分布し、かつ小さくかつ一定の電子の仕事関数を有している電子放出コンポーネントを提供する。【解決手段】基板2とダイヤモンド含有物質を含む被覆1とを有する1つ又は複数の電子を放出する電極のアレーを有する電子放出コンポーネントにおいて、ダイヤモンド含有物質を含む被覆が、水素で飽和された覆いを持つ。水素で飽和されていないダイヤモンドの覆いを有するコンポーネントよりも低電圧で電子を放出し、10V/μm以下の電圧で、1nA/0.25 cm2、つまり4nA/cm2の放出電流が得られる。例えば、25V以下の電圧で0.1A/mm2の電流密度が必要とされる平坦ディスプレイスクリーンに使用できる。その製造方法はダイヤモンド含有物質を含む被覆を基板に設け、被覆の表面が水素で飽和された覆いが形成されるように、水素で飽和されるまで水素又は炭素/水素プラズマで処理する。
請求項(抜粋):
基板とダイヤモンド含有物質を含む被覆とを有する1つまたは複数の電子を放出する電極のアレーを有する電子放出コンポーネントにおいて、ダイヤモンド含有物質を含む前記被覆が、水素で飽和された覆いを持つことを特徴とする電子放出コンポーネント。
IPC (2件):
H01J 1/30 ,  H01J 9/02
FI (2件):
H01J 1/30 S ,  H01J 9/02 C

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