特許
J-GLOBAL ID：200903005711456624
研磨方法及び研磨装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339792
公開番号（公開出願番号）：特開平9-070753
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【構成】本発明は、被加工物を研磨する定盤を回転駆動する駆動電流の積分値に基づいて加工終点を判定するようにしたものである。【効果】本発明によれば、被加工物の研磨加工終点検出を確実かつ迅速に行うことができる。
請求項（抜粋）：
上定盤と、上記上定盤とともに凹凸面を有する被加工物を挾持する下定盤と、上記上定盤を回転駆動する上定盤駆動モータと、上記下定盤を回転駆動する下定盤駆動モータとを具備する研磨装置により上記被加工物の凹凸面を平坦化する研磨方法において、上記研磨装置による上記被加工物の研磨中に上記上定盤駆動モータ及び上記下定盤駆動モータの少なくとも一方の駆動電流を検出する研磨駆動電流検出工程と、上記研磨装置により上記被加工物の研磨をしていない空転時に上記上定盤駆動モータ及び上記下定盤駆動モータの少なくとも一方の駆動電流を検出する空転駆動電流検出工程と、上記駆動電流検出工程にて検出された駆動電流から上記空転駆動電流検出工程にて検出された駆動電流を減じ終点判定電流を得る駆動電流減算工程と、この駆動電流減算工程にて得られた終点判定電流を積分し積分電流値を得る積分電流値演算工程と、この積分電流値演算工程にて得られた積分電流値と予め設定され上記凹凸面の平坦化を示す加工終点閾値とを比較し比較結果に基づいて加工終点と判定する加工終点判定工程とを具備することを特徴とする研磨方法。
IPC (4件)：
B24B 49/10
, B24B 7/22
, H01L 21/304 321
, H01L 21/304
B24B 49/10
, B24B 7/22 C
, H01L 21/304 321 S
, H01L 21/304 321 Z
