特許

J-GLOBAL ID：200903005718451032

電子顕微鏡用試料温度測定装置

発明者： 楠 美智子 ,  幾原 雄一 ,  齋藤 智浩 ,  高須 誠一 ,  河野 智
出願人/特許権者： 財団法人ファインセラミックスセンター ,  ニチデン機械株式会社
代理人 (1件)： 岡田 英彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-164129
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031362
出願日： 1994年07月15日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】電子顕微鏡観察下における試料温度を非接触でかつ正確に測定することが容易な温度測定装置を実現する。【構成】電子顕微鏡内の試料Sの温度を測定する装置であって、試料ホルダー4上に設けられ、鏡筒M内の試料Sが放射する輻射エネルギーBを集光する固定光学系6と、試料ホルダー4とともに設けられ、この固定光学系6により集光された輻射エネルギーBを電子顕微鏡外へ伝送するファイバー光学系12、とを備え、前記輻射エネルギーBから試料温度を検出する。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡内の試料の温度を測定する装置であって、試料ホルダー上に設けられ、鏡筒内の試料が放射する輻射エネルギーを集光する固定光学系と、試料ホルダーとともに設けられ、この固定光学系により集光された輻射エネルギーを電子顕微鏡外へ伝送するファイバー光学系、とを備え、前記輻射エネルギーから試料温度を検出することを特徴とする電子顕微鏡用試料温度測定装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/26