基板搬送用治具及びこれを用いた電気表示装置の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-365168
公開番号（公開出願番号）：特開2003-167223
出願日： 2001年11月29日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】ワーク基板投入から各処理工程で繰返される熱処理にかかわらず、ワーク基板に対して高い寸法精度の維持が可能な基板搬送用治具を提供する。【解決手段】工程搬送時に外的な環境変化によって変形しない剛性を有し、且つ、表面にワーク基板1を支持する支持体11と、上記ワーク基板1を、上記支持体11に吸着支持するための複数の真空吸引用の貫通孔11aと、上記ワーク基板1を、上記支持体11に粘着力で常時支持するためのシリコーンゴム12とを有する。シリコーンゴム12の粘着力は、工程搬送時の外的な環境変化によって上記ワーク基板1が伸縮するのを妨げない粘着力に設定されている。

請求項（抜粋）：

ワーク基板を支持して工程搬送される基板搬送用治具において、工程搬送時に外的な環境変化によって変形しない剛性を有し、且つ、表面にワーク基板を支持する支持体と、上記ワーク基板を、上記支持体に吸着支持するための吸着支持手段と、上記ワーク基板を、上記支持体に粘着力で常時支持するための粘着支持手段とを有し、上記粘着支持手段の粘着力は、工程搬送時の外的な環境変化によって上記ワーク基板が伸縮するのを妨げない粘着力であることを特徴とする基板搬送用治具。

IPC (5件)：

G02F 1/13 101 , B65G 49/06 , G02F 1/1333 500 , G09F 9/00 338 , H01L 21/68

FI (5件)：

G02F 1/13 101 , B65G 49/06 A , G02F 1/1333 500 , G09F 9/00 338 , H01L 21/68 A

Fターム (27件)：

2H088FA17 , 2H088FA18 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 2H090JB03 , 2H090JC19 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031GA08 , 5F031GA30 , 5F031PA13 , 5F031PA18 , 5G435AA12 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435GG12 , 5G435HH02 , 5G435HH18 , 5G435KK05 , 5G435KK10 , 5G435LL06 , 5G435LL07 , 5G435LL08

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