特許
J-GLOBAL ID：200903005724203210
流体分散エレメント
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
苗村 正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-018237
公開番号（公開出願番号）：特開平6-206015
出願日： 1993年01月07日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】例えば高純度ガスなどの流体を広範囲に均一に分散して流過させうる流体分散エレメントを提供する。【構成】流体の導入口と、該導入口に通じかつ拡大した導出口とを有するハウジングと、該ハウジングの導出口を覆う多孔質焼結部材とを具え、前記多孔質焼結部材は、空孔径が大な支持層と、少なくともその片面側に結合され、空孔径が支持層よりも小な微細粒子の微細層との結合体からなり、前記微細層の厚さは前記支持層よりも薄くした流体分散エレメント。
請求項（抜粋）：
流体の導入口と、該導入口に通じかつ拡大した導出口とを有するハウジング、および該ハウジングの導出口を覆う多孔質焼結部材を具え、前記多孔質焼結部材は、空孔径が大な支持層と、少なくともその片面側に結合され空孔径が支持層よりも小な微細粒子の微細層との結合体からなり、前記微細層の厚さを前記支持層よりも薄くした流体分散エレメント。
IPC (3件)：
B05B 1/14
, B05B 1/00
, H01L 21/302
