特許
J-GLOBAL ID：200903005726682256
ネガ型感光性組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-227383
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066558
出願日： 1991年09月06日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該光酸発生剤が5位にベンゾフリル基を直接、又はビニル基を介して結合した2-ハロメチル-1,3,4-オキサジアゾール誘導体であることを特徴とするネガ型感光性組成物。【効果】本発明のネガ型感光性組成物は、光酸発生剤として上記の特定のオキサジアゾール誘導体を含有することにより、組成物の熱安定性が良好で、しかも高解像力のパターンプロフィールを得ることができ、特にネガ型のフォトレジストとして極めて有用である。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該光酸発生剤が5位にベンゾフリル基を直接又はビニル基を介して結合した2-ハロメチル-1,3,4-オキサジアゾール誘導体であることを特徴とするネガ型感光性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
