特許

J-GLOBAL ID：200903005746768084

クライオポンプ

発明者： 磯上 尚志 ,  佐保 典英 ,  根本 武夫 ,  山下 泰郎 ,  河上 浩幸 ,  上出 泰生
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-023946
公開番号（公開出願番号）：特開平8-219020
出願日： 1995年02月13日
公開日（公表日）： 1996年08月27日
要約：

【要約】【目的】 真空容器と連通するクライオポンプの再生時、極低温に冷却したクライオパネルに吸着した排気ガスの離脱分子がポンプから真空容器にリークしない優れたシール性能を有し、短時間で再生できるクライオポンプを提供する。【構成】 極低温のクライオパネル、クライオパネルをほぼ囲む低温の輻射熱シールド板、これらを内包するポンプ枠を備え、ポンプ枠24に設けた入口開口部12を介して真空容器に連通するクライオポンプにおいて、ポンプ内で開口部12に対向して設けた低温度のシャッター14と、ポンプ内でシャッター14を開口部12に対し接離させる駆動機構25、27〜31と、開口部12に取り付けシャッター14との対向面を密封するゴム製のシール材38と、シール材38とシャッター14の接触部加熱用のヒータ40と、接触部の温度検出用の温度センサ50と、温度センサ50の検出値を基にヒータ40の出力制御する制御装置6と、を設けた。

請求項（抜粋）：

第1の冷媒で極低温度に冷却するクライオパネルと、該クライオパネルをほぼ取り囲み第2の冷媒で低温度に冷却する輻射熱シールド板と、前記クライオパネル及び前記輻射熱シールド板を内包するポンプ枠とを備え、該ポンプ枠に設けた入口を介して真空容器に連通するクライオポンプにおいて、ポンプ内で前記ポンプ枠の入口に対向して設けられ第2の冷媒で低温度に冷却するシャッターと、ポンプ内で該シャッターを前記ポンプ枠の入口に対して接離方向に移動させる駆動機構と、前記ポンプ枠の入口に取り付けられ該入口と前記シャッターの近接時に対向面を密封するゴム又は合成樹脂製のシール材と、該シール材と前記シャッターとの接触部位を加熱するための加熱体と、前記接触部位の温度を検出するための温度センサと、前記温度センサの検出値を基に前記加熱体の出力を制御する制御装置と、を設けたことを特徴とするクライオポンプ。

IPC (3件)：

F04B 37/08 ,  F04B 37/16 ,  F04B 39/06

FI (3件)：

F04B 37/08 ,  F04B 37/16 B ,  F04B 39/06 S