特許

J-GLOBAL ID：200903005749287362

電子線の偏向歪補正方法、及び歪補正手段を有する電子線露光装置、走査型電子顕微鏡

発明者： 室谷 義治
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206057
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022773
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】電子線を偏向させ描画する際の偏向歪を補正する偏向歪補正方法において高精度に歪補正する。【解決手段】電子線走査時の偏向量および歪を補正するために2次元の周期構造を有するマークパターンを設け、この周期構造を有するマークパターンと角度を成すように電子線を走査し、干渉縞パターンを発生させ、この干渉縞パターンを観察することで、従来よりも高い精度での偏向歪補正を可能とする。

請求項（抜粋）：

電子線を偏向させ描画する際の偏向歪を補正する偏向歪補正方法において、前記偏向歪を補正するためのマークパターンとして、2次元の周期構造を有するマークパターンを用い、該マークパターンに電子線を走査させることで干渉縞パターンを発生させ、該干渉縞パターンにより電子線の偏向歪を補正する偏向歪補正方法。

IPC (6件)：

H01J 37/153 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

H01J 37/153 Z ,  H01J 37/153 B ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/147 C ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 D

Fターム (16件)：

2H097AA03 ,  2H097BB03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C033GG05 ,  5C033UU01 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C034BB04 ,  5C034BB05 ,  5F056AA01 ,  5F056BA08 ,  5F056BD04 ,  5F056BD06 ,  5F056CB28 ,  5F056CC02