特許
J-GLOBAL ID：200903005753246506
導電性レジスト
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米澤 明 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-015196
公開番号（公開出願番号）：特開平5-210242
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】 露光時にチャージアップを生じない導電性レジストを得る。【構成】 電離放射線の照射によってアニオンあるいはカチオンを生じる物質と、その対イオンであるカチオンまたはアニオンを有する物質とがポリイオンコンプレックスを形成して不溶化するレジストであって、ポリイオンコンプレックスを形成する物質の少なくとも1種が導電性高分子物質から構成されている。【効果】 チャージアップ現象が生じないので、正確なパターンを描くことができる。
請求項（抜粋）：
電離放射線の照射によってアニオンあるいはカチオンを生じる物質と、その対イオンであるカチオンまたはアニオンを有する物質とがポリイオンコンプレックスを形成して不溶化するレジストにおいて、ポリイオンコンプレックスを形成する物質の少なくとも1種が導電性高分子物質であることを特徴とする導電性レジスト。
IPC (3件)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/004 521
, H01L 21/027
