特許

J-GLOBAL ID：200903005771626391

固体撮像装置およびそれを備えた位置合わせ装置

発明者： 駒井 敦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335733
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164845
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 解像度の高い一次元画像信号をS/N良くまた確実に読み出すことができると共に、二次元画像信号も低い転送周波数で確実に読み出すことができる固体撮像装置、およびそれを備えた位置合わせ装置を提供する。【解決手段】 二次元配列された複数の受光画素11の垂直ライン各々に対応して設けられ、各受光画素11にて発生した電荷を垂直転送する垂直転送部12と、垂直転送部12と同じN個の転送セル14aを含み、垂直転送部12から転送セル14aに転送される電荷を、各転送セル14aにて複数水平ライン分蓄積し、一次元画像信号を生成する第1水平転送部14と、垂直転送部12よりも少ないM個の転送セル16aを含み、垂直転送部12から転送セル16aに転送される電荷を、各転送セル16aに取り込んで水平転送し、二次元画像信号を生成する第2水平転送部16とを備える。

請求項（抜粋）：

水平垂直方向に二次元配列され、受光量に応じて電荷を発生する複数の受光画素と、前記複数の受光画素の垂直ライン各々に対応して設けられ、対応する垂直ラインの受光画素にて発生した電荷を取り込んで垂直方向に順次転送するN個の垂直転送部と、前記垂直転送部の個数と同じN個の転送セルを含み、前記N個の垂直転送部によって前記N個の転送セル各々に転送される電荷を、各転送セルに複数の水平ライン分まとめて蓄積し、該蓄積された電荷を水平方向に順次転送して一次元画像信号を生成する第1水平転送部と、前記垂直転送部の個数よりも少ないM個の転送セルを含み、前記N個の垂直転送部のうち少なくともM個によって前記M個の転送セル各々に転送される電荷を、各転送セルに取り込んで水平方向に順次転送し、二次元画像信号を生成する第2水平転送部とを備えたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/148 ,  H01L 21/027 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

H01L 27/14 B ,  H04N 5/335 F ,  H01L 21/30 525 C ,  H01L 21/30 525 N

Fターム (33件)：

4M118AA05 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118DB09 ,  4M118FA06 ,  4M118FA44 ,  5C024AA01 ,  5C024CA05 ,  5C024CA11 ,  5C024CA33 ,  5C024DA04 ,  5C024FA01 ,  5C024GA16 ,  5C024GA26 ,  5F046BA03 ,  5F046DA08 ,  5F046DB05 ,  5F046DC07 ,  5F046DD01 ,  5F046EA02 ,  5F046EA03 ,  5F046EA04 ,  5F046EB02 ,  5F046EB03 ,  5F046ED03 ,  5F046FA02 ,  5F046FA11 ,  5F046FB04 ,  5F046FB08 ,  5F046FB12 ,  5F046FC03 ,  5F046FC05