特許

J-GLOBAL ID：200903005781743817

洗浄処理装置及び雰囲気流体の再利用方法

発明者： 佐藤 水男
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-125071
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315673
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】 クリーンエアーを得るためのコスト低減を図ることができ、装置の小型化を図ることができる洗浄処理装置を提供すること。【解決手段】 装置内の雰囲気流体は、ファン25により循環タンク19の上方に送られる。この雰囲気流体は、気液分離板22に衝突して気体と液体に分離される。すなわち、雰囲気流体は、気液分離板22に衝突すると共に、気体はファン25により上方に送られ、液体はシャワー23からの水により下方に落とされて循環タンク19内に溜まる。さらに、気液分離された気体は、上方に上がり、ミストキャッチャー24によりミスト成分が除去される。さらに、ミスト成分が除去された気体は、ULPAフィルタ26によりフィルタリングされてクリーンエアーとなり、リサイクルされて装置内に供給される。

請求項（抜粋）：

被処理体に対して洗浄処理を行なう洗浄処理装置であって、被処理体を洗浄する洗浄液を収容する処理容器を備えた処理槽と、前記処理槽内に設置され、前記処理槽内の雰囲気流体を循環させる雰囲気流体循環手段と、循環させた雰囲気流体を清浄化させるフィルタリング手段と、を具備することを特徴とする洗浄処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 648 ,  B01D 53/18

FI (2件)：

H01L 21/304 648 L ,  B01D 53/18 E

Fターム (9件)：

4D020AA08 ,  4D020AA09 ,  4D020BA23 ,  4D020CB25 ,  4D020CC02 ,  4D020CC05 ,  4D020CC06 ,  4D020CD01 ,  4D020CD02