特許
J-GLOBAL ID：200903005785323723
マスフローコントローラ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-207840
公開番号（公開出願番号）：特開平9-034556
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【目的】小流量ではあるが高精度の要請と、低精度ではあるが大流量の要請とを、共に満たすことができる安価且つ手間のかからないマスフローコントローラを提供する。【構成】センサ流路2内の質量流量を検出するセンサ部と、流体が流れるバイパス流路3と、センサ部からの検出信号と設定信号とを比較制御する制御回路部6と、この比較制御に基づいて流量制御をするバルブ部7とを有するマスフローコントローラであって、センサ流路2はステンレス鋼よりも熱伝導率の高い金属材料で形成すると共に、センサ流路2を流れる流量とセンサ流路2とバイパス流路3の合計流量とは所定流量比に設定し、マスフローコントローラのフルスケール流量の50%以下の流量において較正したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
センサ流路内の質量流量を検出するセンサ部と、流体が流れるバイパス流路と、前記センサ部からの検出信号と設定信号とを比較制御する制御回路部と、この比較制御に基づいて流量制御をするバルブ部とを有するマスフローコントローラであって、前記センサ流路はステンレス鋼よりも熱伝導率の高い金属材料で形成すると共に、センサ流路を流れる流量とセンサ流路とバイパス流路の合計流量とは所定流量比に設定し、前記マスフローコントローラのフルスケール流量の50%以下の流量において較正したことを特徴とするマスフローコントローラ。
IPC (4件)：
G05D 7/06
, F16L 9/02
, G01F 1/68
, G01P 5/10
G05D 7/06 Z
, F16L 9/02
, G01F 1/68
, G01P 5/10 K
