特許
J-GLOBAL ID:200903005787739153

ガスレーザ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 橋爪 良彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-198620
公開番号(公開出願番号):特開平5-021866
出願日: 1991年07月12日
公開日(公表日): 1993年01月29日
要約:
【要約】【目的】 磁性流体軸シールを用いて媒質ガスと軸受との間をシールすることによって、媒質ガスの劣化防止を計る。【構成】 ガスレーザ装置に用いられている媒質ガスと、該ガスを循環させる送風機の軸受の潤滑剤との接触を防ぐ方法として、永久磁石、極板、磁性流体などから成る磁性流体軸シールを媒質ガスと軸受との間に設けたもの。
請求項(抜粋):
媒質ガスと、該ガスを封入するケースと、該ガスを循環させる送風機と、レーザ光線を発生させる陽極及び陰極などからなるガスレーザ装置において、該送風機の回転軸を支える軸受の潤滑剤と前記媒質ガスとの間を磁性流体軸シールを用いてシールしたことを特徴とするガスレーザ装置。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特表平2-500944
  • 特開平2-002696
  • 特開昭63-125866

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