特許

J-GLOBAL ID：200903005793696784

ダイシング装置

発明者： 森 俊 ,  関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334944
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181257
出願日： 1992年11月24日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ダイシング装置の横幅を減少させて、装置全体を小型コンパクトに纏める。【構成】 ダイシング装置1におけるカセット領域2と、チャック領域3と、スピン洗浄領域4とをスピンドル81の軸線に対して平行線上に配設する。チャック領域3のチャックテーブルは、前記平行線に対して直角方向に往復動可能に配設すると共に、チャック領域3とダイシング領域6とに位置付けられるようにする。

請求項（抜粋）：

カセット領域と、チャック領域と、スピン洗浄領域とがスピンドルの軸線に対して平行線上に配設され、前記チャック領域のチャックテーブルは前記平行線に対して直角方向に往復動可能に配設されると共に、チャック領域とダイシング領域とに位置付けられるように構成されているダイシング装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-288642
  
• 特開昭60-216567
  
• 特開平4-212422