特許

J-GLOBAL ID：200903005795722502

放射線感光材料およびそれを用いるパターン形成方法

発明者： 武智 敏 ,  開元 裕子 ,  野崎 耕司
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 青木 朗 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-053772
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257285
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】 電離放射線に対して透明性が優れ、かつ、十分なドライエッチング耐性をもつ放射線用感光材料を提供する。【構成】 シクロヘキシルマレイミドの重合体または共重合体からなる放射線感光材料を用いる。

請求項（抜粋）：

シクロヘキシルマレイミドの重合体または共重合体からなる放射線感光材料。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R ,  H01L 21/30 361 L