特許
J-GLOBAL ID：200903005818423257
レーザ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-072503
公開番号（公開出願番号）：特開平7-261091
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】高い解像度と深い焦点深度の相反する要望を満たし得るレーザ顕微鏡を提供する。【構成】レーザ顕微鏡は、光源と、対物レンズ51と、試料ステージ53と、光検出器52とを少なくとも備えており、光源は、(イ)レーザダイオード、Nd:YAGから成る固体レーザ媒質及び非線形光学結晶素子から構成された、波長λの第2高調波を射出し得るレーザ光源10と、(ロ)非線形光学結晶素子及び光共振器から成り、レーザ光源から射出された波長λのレーザ光が入射され、そして波長λの入射光の第2高調波に基づいた波長λ’のレーザ光を少なくとも射出し得る第2高調波発生装置20と、(ハ)光共振器の共振器長を制御するための共振器長制御装置30と、(ニ)波長λ又は波長λ’のレーザ光を対物レンズに入射させるためのレーザ光切替手段43A,43Bから成る。
請求項（抜粋）：
光源と、対物レンズと、試料ステージと、光検出器とを少なくとも備えたレーザ顕微鏡であって、該光源は、(イ)レーザダイオード、Nd:YAGから成る固体レーザ媒質及び非線形光学結晶素子から構成された、波長λの第2高調波を射出し得るレーザ光源と、(ロ)非線形光学結晶素子及び光共振器から成り、該レーザ光源から射出された波長λのレーザ光が入射され、そして該波長λの入射光の第2高調波に基づいた波長λ’のレーザ光を少なくとも射出し得る第2高調波発生装置と、(ハ)該光共振器の共振器長を制御するための共振器長制御装置と、(ニ)波長λ又は波長λ’のレーザ光を対物レンズに入射させるためのレーザ光切替手段、から成ることを特徴とするレーザ顕微鏡。
IPC (7件)：
G02B 21/00
, G01B 11/24
, G01N 21/01
, G01N 21/27
, G02F 1/37
, H01L 21/66
, H01S 3/109
