平面型表示パネルの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-285786
公開番号（公開出願番号）：特開2000-112399
出願日： 1998年10月08日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】エッチング工程におけるマスキングが良好に行える平面型表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】平面型表示パネルの特定領域を化学的にエッチングする工程において、耐エッチング性を有する樹脂フィルムを用いて平面型表示パネルの特定領域以外の全ての表面をマスキングする。これにより、特に平面型表示パネルの端部側面についても確実に覆うことができる。また、最初に、平面型表示パネルの表面全体を樹脂フィルムで完全に覆った後で、エッチングの必要な特定領域のみ樹脂フィルムを切り取ることにより、容易にエッチング必要箇所のパターニングが可能となり、その位置決めも容易に行える。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方の主面がガラス基板からなる平面型表示パネルの製造方法であって、前記平面型表示パネルのガラス基板からなる主面の特定領域の厚さを基準厚さに加工する平面型表示パネルの製造方法において、耐エッチング性を有する樹脂フィルムにより、平面型表示パネルの前記特定領域を除いた表面領域の全体を覆い、前記特定領域をウエットエッチングする工程を含むことを特徴とする平面型表示パネルの製造方法。

IPC (3件)：

G09F 9/30 312 , G09F 9/30 , G02F 1/1333 500

FI (3件)：

G09F 9/30 312 Z , G09F 9/30 C , G02F 1/1333 500

Fターム (9件)：

2H090JA02 , 2H090JC03 , 2H090JD01 , 2H090LA20 , 5C094AA43 , 5C094EB02 , 5C094FB01 , 5C094GB01 , 5C094HA08

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭54-019768

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