特許

J-GLOBAL ID：200903005829476425

薄膜半導体装置、電気光学装置、それを用いた投射型液晶表示装置並びに電子機器

発明者： 藤川 紳介
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-235389
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045966
出願日： 2001年08月02日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 配線の低抵抗化などを図ってもヒロックに起因する短絡が発生しない薄膜半導体装置、電気光学装置、およびそれを用いた投射型表示装置並びに電子機器を提供すること。【解決手段】 液晶装置のアクティブマトリクス基板10では、走査線3a、およびデータ線6aの本体部分61aは、アルミニウムまたはアルミニウム合金といった低抵抗金属から構成されている。配線の交差部では、データ線6aの中継部分62aが走査線3aおよび容量線3bの下層側を通り、かつ、この中継部分62aは、クロム、タンタル、モリブデン-タングステンなどといった高融点金属から構成されている。

請求項（抜粋）：

薄膜トランジスタ、該薄膜トランジスタのゲート電極に電気的に接続するゲート配線、および前記薄膜トランジスタのソース領域に電気的に接続するソース配線を有し、前記ソース配線と前記ゲート配線とが互いに交差する方向に延びた薄膜半導体装置において、前記ゲート配線および前記ソース配線のうちの一方の配線は、他方の配線と同一の導電材料によって当該他方の配線と同一の層間に形成された本体部分と、前記他方の配線との交差部で当該他方の配線に対して層間絶縁膜を介してその下層側あるいは上層側を通る中継部分とを備えていることを特徴とする薄膜半導体装置。

IPC (7件)：

H01L 21/768 ,  G02F 1/1368 ,  G03B 21/00 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 348 ,  G09F 9/35 ,  H01L 29/786

FI (7件)：

G02F 1/1368 ,  G03B 21/00 E ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 348 A ,  G09F 9/35 ,  H01L 21/90 W ,  H01L 29/78 612 C

Fターム (91件)：

2H092GA25 ,  2H092JA25 ,  2H092JA46 ,  2H092JB24 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092KB04 ,  2H092KB05 ,  2H092MA12 ,  2H092NA28 ,  2H092RA05 ,  5C094AA31 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ09 ,  5F033KK17 ,  5F033KK21 ,  5F033KK22 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033SS04 ,  5F033SS12 ,  5F033SS13 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX08 ,  5F033XX16 ,  5F110AA03 ,  5F110AA26 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC07 ,  5F110DD03 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE28 ,  5F110EE37 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF23 ,  5F110FF29 ,  5F110FF32 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG47 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110HM19 ,  5F110NN04 ,  5F110NN13 ,  5F110NN23 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110PP01 ,  5F110PP10 ,  5F110PP13 ,  5F110PP33 ,  5F110QQ11