ターボ分子ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-143107
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014188
出願日： 1994年06月24日
公開日（公表日）： 1996年01月16日
要約：

【要約】【目的】有効排気速度の低下を可及的の防止でき、且つ、装置内で発生した微小塵が真空用チャンバー内に侵入するのを防止して半導体等の歩留りを向上することができるようにする。【構成】吸気口2及び排気口3を有するポンプケーシング1内に回転自在に配置された動翼11を有するロータ9と、該動翼11間に固定された静翼13を有するステータ14とを備えたターボ分子ポンプにおいて、前記動翼11により飛散される微小塵が真空用チャンバー4側に侵入するのを防止するための微小塵防止用の静翼ディスク22が、最上流段の動翼11aよりも上流に位置するように、前記ポンプケーシング1内に設けられてなることにある。

請求項（抜粋）：

吸気口(2)及び排気口(3)を有するポンプケーシング(1)内に回転自在に配置された動翼(11)を有するロータ(9)と、該動翼(11)間に固定された静翼(13)を有するステータ(14)とを備えたターボ分子ポンプにおいて、前記動翼(11)により飛散される微小塵が真空用チャンバー(4)側に侵入するのを防止するための微小塵防止用の静翼ディスク(22)が、最上流段の動翼(11a)よりも上流に位置するように、前記ポンプケーシング(1)内に設けられてなることを特徴とするターボ分子ポンプ。

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