レーザ光を用いた表面不要物除去装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横井幸喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172830
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006086
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】被処理体表面の不純物等をレーザ光の照射により除去する際に、除去した不要物で被処理体やレーザ光導入用窓が再汚染されるのを防止する。【解決手段】処理室2内でレーザ光10の周囲を囲むようにガス吹出筒4を配置するとともに該吹出筒4にガスを供給するガス供給手段4aを設け、さらにガス吹出筒4外で、被処理体6から除去された不要物を吸引して処理室2外に排出するガス吸引・排出手段7、7aを設ける。【効果】除去された不要物が確実にレーザ光照射部から取り去られるとともに、直ちに吸引して処理室外に排出されるので、被処理体、レーザ光導入用窓の再汚染が確実に防止される。

請求項（抜粋）：

処理室内に置かれた被処理体に、処理室外部からレーザ導入用窓を通してレーザ光を照射することにより、被処理体表面部の不要物を除去する表面不要物除去装置において、処理室内でレーザ光の周囲を囲むように配置されたガス吹出筒と、該ガス吹出筒の先端から被処理体に向けてガスを吹き付けるべくガス吹出筒内にガスを供給するガス供給手段と、ガス吹出筒外で、被処理体から除去された前記不要物をガスとともに吸引して処理室外に排出するガス吸引・排出手段とを有することを特徴とするレーザ光を用いた表面不要物除去装置

IPC (5件)：

C23F 4/00 , B23K 26/14 , C23C 16/44 , H01L 21/3065 , H01L 21/304 341

FI (5件)：

C23F 4/00 Z , B23K 26/14 Z , C23C 16/44 J , H01L 21/304 341 D , H01L 21/302 N

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-225513
特開昭53-068498
特開昭48-094387

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