特許
J-GLOBAL ID：200903005844323708
可搬式密閉コンテナ移送式の電子基板処理システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-221474
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069312
出願日： 1992年08月20日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 装置間相互の時間的制約を無くして工程の自由度を向上することができ、生産性を高めることができる可搬式密閉コンテナ移送式の半導体処理システムを提供することを目的とする。【構成】 電子基板Wの処理装置100と洗浄装置200を備える電子基体処理システムにおいて、パージステーション300と保管庫400を有し、上記洗浄装置で洗浄を終えた電子基板もしくは当該電子基板を収納したカセット70は上記パージステーション内で可搬式密閉コンテナ30に収納かつ不活性なガスによるガスパージされ、上記可搬式密閉コンテナは上記保管庫で保管されることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハや液晶基板等電子電子基板の処理装置と洗浄装置を備える電子基板処理システムにおいて、パージステーションと保管部を有し、上記洗浄装置で洗浄を終えた電子基板もしくは当該電子基板を収納したカセットは上記パージステーション内で可搬式密閉コンテナに収納かつ不活性なガスによりガスパージされ、上記可搬式密閉コンテナは必要に応じ上記保管部で保管されることを特徴とする可搬式密閉コンテナ移送式の電子基板処理システム。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 19/00
, H01B 13/00
