特許
J-GLOBAL ID:200903005847047507

基板に材料を蒸着する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 大野 聖二 ,  森田 耕司 ,  田中 玲子 ,  山田 勇毅 ,  北野 健
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-568175
公開番号(公開出願番号):特表2004-532096
出願日: 2002年02月27日
公開日(公表日): 2004年10月21日
要約:
【解決手段】インクジェット法により基板上に材料を蒸着するための溶媒において、相対的に高い沸点を有し、かつ蒸着される材料に関して相対的に低い溶解度を示す第1の溶媒成分、及び相対的に低い沸点を有し、かつ蒸着される材料に関して高い溶解度を示す第2の溶媒成分からなる溶媒系に、基板上に蒸着される材料を溶解することを特徴とする蒸着用材料混合溶媒の配合方法。【選択図】図1
請求項(抜粋):
インクジェット法により基板上に材料を蒸着するための溶媒において、相対的に高い沸点を有し、かつ蒸着される材料に関して相対的に低い溶解度を示す第1の溶媒成分、及び相対的に低い沸点を有し、かつ蒸着される材料に関して高い溶解度を示す第2の溶媒成分からなる溶媒系に、基板上に蒸着される材料を溶解することを特徴とする蒸着用材料混合溶媒の配合方法。
IPC (3件):
B01J19/00 ,  B05D1/26 ,  B05D5/06
FI (3件):
B01J19/00 L ,  B05D1/26 Z ,  B05D5/06 B
Fターム (24件):
4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC92 ,  4D075AC93 ,  4D075BB16X ,  4D075BB24Z ,  4D075BB92Z ,  4D075CB09 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB53 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EC07 ,  4D075EC30 ,  4D075EC52 ,  4D075EC54 ,  4G075AA24 ,  4G075BC01 ,  4G075CA57 ,  4G075CA80 ,  4G075DA18
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭63-264684
  • 特開昭63-264684

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