特許
J-GLOBAL ID:200903005848388561

信号検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渋谷 理
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-346137
公開番号(公開出願番号):特開平9-159408
出願日: 1995年12月12日
公開日(公表日): 1997年06月20日
要約:
【要約】【課題】 移動平面物体上に位置するマーク、傷、若しくは孔(貫通孔を含む)を利用した光信号を正確に検出することのできる検出装置を提供すること。【解決手段】 半導体レーザーから射出されたレーザー光をケーラー照明を可能にするコリメーターレンズで絞り、次いで該レーザー光を移動平面物体に対し、ハーフミラーを経て垂直に照射し、その反射光をケーラー照明を可能にする非球面レンズで集光し、非球面レンズの後方焦点に位置する受光素子で受光し、前記移動平面物体上にあるマーク、傷、又は、孔等で生ずる信号を検出部に於いて電気的にA/D変換して検出する検出装置であって、移動平面物体の移動面に揺れがあっても正確な信号の検出が可能な装置である。
請求項(抜粋):
レーザー光源、ハーフミラー、コリメーターレンズ及び非球面レンズを組み合わせたケーラー照明、受光素子、及び、検出部を含んでなる移動平面物体からの信号検出装置。
IPC (3件):
G01B 11/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/89
FI (3件):
G01B 11/00 B ,  G01B 11/30 E ,  G01N 21/89 A

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