特許

J-GLOBAL ID：200903005860274563

レーザ加工装置及びレーザ加工方法

発明者： 尼子 淳 ,  村井 正己 ,  曽根原 富雄 ,  太田 勉
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-006735
公開番号（公開出願番号）：特開2002-263876
出願日： 1994年06月06日
公開日（公表日）： 2002年09月17日
要約：

【要約】【課題】加工品質に優れ、かつ加工能力の高いレーザ加工装置および加工方法を提供すること。【解決手段】複数のパルスレーザ発振器1101a,1101bと、それぞれの発振位相をずらして前記パルスレーザ発振器を順次駆動する手段1102a,1102bと、前記パルスレーザ発振器から出射されるビーム1104a,1104bのそれぞれを複数のビームに分岐する手段1109を備え、前記分岐する手段により得られた複数のビームを被加工物1111に照射することを特徴とするレーザ加工装置および加工方法である。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器と、前記レーザ発振器から出射されるビームを分岐する位相格子と、分岐されたビームを集光し被加工物に照射する集光レンズと、を有するレーザ加工装置において、前記位相格子により分岐された複数のビームを前記被加工物の複数箇所に同時に照射し加工することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (2件)：

B23K 26/06 ,  B23K101:42

FI (3件)：

B23K 26/06 C ,  B23K 26/06 Z ,  B23K101:42

Fターム (5件)：

4E068CA01 ,  4E068CD02 ,  4E068CD04 ,  4E068CD08 ,  4E068DA11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-117791
  
• ロール表面加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-095626   出願人：新日本製鐵株式会社