特許

J-GLOBAL ID：200903005863617453

ガス回収システムおよびガス回収方法

発明者： 酒井 伊都子 ,  大内 淳子 ,  大岩 徳久 ,  早坂 伸夫 ,  奥村 勝弥
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-368269
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185539
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】PFCの回収に要するコストおよび環境負荷の低減化を図ること。【解決手段】PFCを含むガスを窒素ガスで希釈する前に、冷却機構トラップ101によりPFCとその他のガスとに分離し、分離されたPFCを効率的な回収が可能になる濃度まで仮貯蔵機構102により仮貯蔵し、その後仮貯蔵されたPFCボンベ内に詰め込む

請求項（抜粋）：

処理容器から排気された所定のガスを含むガスを、前記所定のガスと前記所定のガスを含まないガスとに分離するガス分離手段と、このガス分離手段により分離された前記所定のガスを仮貯蔵する仮貯蔵手段と、前記ガス分離手段により分離された前記所定のガスを含まないガスを前記処理容器の外に排気する排気手段とを具備してなることを特徴とするガス回収システム。

IPC (5件)：

H01L 21/3065 ,  B01D 8/00 ,  B01D 53/68 ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/44

FI (5件)：

B01D 8/00 ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/44 E ,  H01L 21/302 B ,  B01D 53/34 134 C