特許
J-GLOBAL ID：200903005869229510
スクリュー真空ポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-174458
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338382
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】 高速回転させても騒音の小さなスクリュ-真空ポンプを提供する。【構成】 雄ロ-タ10及び雌ロ-タ11を駆動するためにそれぞれのロ-タに設けられたモ-タM1 、M2 と、前記夫々のモ-タM1 、M2 に駆動用交流信号あるいは駆動用パルス信号を送出するインバ-タ2、3と、前記インバ-タ2、3を周波数制御するコントロ-ル信号を送出するコントロ-ラ4とを備え、前記雄ロ-タ10と雌ロ-タ11の回転数を制御駆動する。
請求項（抜粋）：
互に噛み合いながら回転する一対の雄ロ-タ及び雌ロ-タと、両ロ-タを収納するケ-シングにより作動室を形成し、ケ-シングの吸入口から気体を吸入すると共に前記吸入気体を前記作動室に閉じ込め、前記作動室に閉じ込められた吸入気体を前記ロ-タの回転に伴って、吐出口から圧出するスクリュ-真空ポンプにおいて、前記雄ロ-タ及び雌ロ-タを駆動するためにそれぞれのロ-タに設けられたモ-タと、前記夫々のモ-タに駆動用交流信号あるいは駆動用パルス信号を送出するインバ-タと、前記インバ-タを周波数制御するコントロ-ル信号を送出するコントロ-ラとを備え、前記雄ロ-タと雌ロ-タの回転数を制御駆動することを特徴とするスクリュー真空ポンプ。
IPC (6件)：
F04C 25/02
, F04C 18/16
, F04C 27/00 311
, F04C 29/00
, F04C 29/04
, F04C 29/10 311
F04C 25/02 M
, F04C 18/16 H
, F04C 27/00 311
, F04C 29/00 T
, F04C 29/04 D
, F04C 29/10 311 C
