特許

J-GLOBAL ID：200903005872793680

真空ポンプ

発明者： マーティン ニコラス ステュアート
出願人/特許権者： ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-300764
公開番号（公開出願番号）：特開2003-129990
出願日： 2002年10月15日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】 個々の実験用器具用途に適合可能な複合真空ポンプを提供する。【解決手段】 複合真空ポンプは、少なくとも1つのターボ分子ステージ(6,7)と、これから見て下流側に位置する多溝分子ドラグステージ(32)と、流体がターボ分子ステージ及び多溝分子ドラグステージを通ってポンプ出口(36)に流れることができるようにする第1の入口(38)と、流体がターボ分子ステージと多溝分子ドラグステージとの間の位置で流入でき、多溝分子ドラグステージだけを通ってポンプ出口に向かうようにすることができる第2の入口(34)とを有し、多溝分子ドラグステージの1以上の溝が、直接第2の入口と連通し、残りの1又は複数の溝が、ターボ分子ステージと連通することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複合真空ポンプであって、少なくとも1つのターボ分子ステージと、これから見て下流側に位置する多溝分子ドラグステージと、流体がターボ分子ステージ及び多溝分子ドラグステージを通ってポンプ出口に向かって流れることができるようにする第1の入口と、流体がターボ分子ステージと多溝分子ドラグステージとの間の位置で流入でき、多溝分子ドラグステージだけを通ってポンプ出口に向かうようにすることができる第2の入口とを有し、多溝分子ドラグステージの1以上の溝が、直接第2の入口と連通し、残りの1又は複数の溝が、ターボ分子ステージと連通することを特徴とする複合真空ポンプ。

Fターム (3件)：

3H031DA02 ,  3H031FA01 ,  3H031FA36