超小型鏡デバイスおよびその形成方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤政喜 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-100077
公開番号（公開出願番号）：特開2003-322807
出願日： 2003年04月03日
公開日（公表日）： 2003年11月14日
要約：

【要約】【課題】性能の良い超小型鏡デバイスを提供する。【解決手段】超小型鏡デバイスは、表面を有する基板と、基板の表面から離間されており実質的に向きが平行であり、その結果基板の表面との間にキャビティを定めるプレートとを備える。キャビティ内に誘電液体が配置され、基板の表面とプレートとの間には反射要素が介在する。そのようにして、反射要素が、第1の位置と少なくとも1つの第2の位置との間で動くようになっている。

請求項（抜粋）：

超小型鏡デバイスであって、表面を有する基板と、前記基板の前記表面から離間されており、該基板の該表面に実質的に向きが平行であり、該基板の該表面との間にキャビティを定めるプレートと、前記キャビティ内に配置された誘電液体と、前記基板の前記表面と前記プレートとの間に介在する反射要素とを備え、前記反射要素は、第1の位置と少なくとも1つの第2の位置との間で動くようにされていることを特徴とする超小型鏡デバイス。

IPC (3件)：

G02B 26/08 , B81B 3/00 , G02B 5/08

FI (4件)：

G02B 26/08 E , B81B 3/00 , G02B 5/08 A , G02B 5/08 C

Fターム (13件)：

2H041AA14 , 2H041AA16 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08 , 2H042DA02 , 2H042DA06 , 2H042DA10 , 2H042DA12 , 2H042DA19 , 2H042DB00 , 2H042DC08

引用特許：

審査官引用 (6件)

光変調装置及びその製造方法並びにその光変調装置を用いた電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-337877 出願人：セイコーエプソン株式会社
空間光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-137129 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
多相光変調の方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-077112 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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