カラーフィルタの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268022
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104114
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】耐光性の高いカラーフィルタにおいて高精細化を可能とし、また、平坦化等の品質の向上、生産効率(歩留り)の向上を図る。【構成】透明導電性薄膜102が積層、形成された絶縁性基板101上に、複数色の各色素を、下記工程群A、又は工程群Bのいずれかを用いて分離、配置する。工程群A:a1)ミセル電解法によって、一つの色の色素層を形成する工程。a2)一つの色の色素層の上に透明な光硬化性レジスト130を積層し、露光し、未露光部分の光硬化性レジスト及び色素層を除去して、一つの色の色素層を配置する工程。工程群B:b1)光可溶化型レジスト140を積層し、露光し、現像して露光した部分の光可溶化型レジストを除去する工程。b2)ミセル電解法によって、一つの色の色素層を、光可溶化型レジストを除去して露出させた透明導電性薄膜上に配置する工程。b3)残留した全ての光可溶化型レジストを除去する工程。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上に、ミセル電解法によって複数色の色素層を分離して配置し、所定の色素パターンを形成するカラーフィルタの製造方法において、絶縁性基板上の、少なくとも複数色の色素層が配置される領域、又は、少なくとも複数色の色素層が配置される領域を含む連続するパターンに対応する領域に透明導電性薄膜を積層、形成し、この透明導電性薄膜が積層、形成された絶縁性基板上に、複数の色素層を、単色の各色素層としては下記工程群A(a1及びa2)又は工程群B(b1,b2及びb3)のいずれかを用い、かつ、複数色の色素層の集合体としては下記工程群A(a1及びa2)及び工程群B(b1,b2及びb3)の両方を用いて、分離、配置することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。工程群Aa1)透明導電性薄膜の全面又は一部上に、ミセル電解法による製膜によって、複数色から選択した一つの色の色素層を形成する工程a2)一つの色の色素層の上に透明な光硬化性レジストを積層し、その一つの色の色素層に対応したマスクを用いて露光し、かつ露光部の熱処理の前及び/又は後に、未露光部分の光硬化性レジスト及び色素層を除去して、一つの色の色素層を配置する工程工程群Bb1)透明導電性薄膜の全面又は一部上に、光可溶化型レジストを積層し、複数色から選択した一つの色の色素層に対応したパターンを有するマスクを用いて露光し、次いで、現像して露光した部分の光可溶化型レジストを除去する工程b2)ミセル電解法による製膜によって、前記一つの色の色素層を、光可溶化型レジストを除去して露出させた透明導電性薄膜上に配置する工程b3)透明導電性薄膜上に残留した全ての光可溶化型レジストを除去する工程

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-172304
特開平2-267298
特開平4-275505

審査官引用 (3件)

特開平4-172304
特開平2-267298
特開平4-275505

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