特許

J-GLOBAL ID：200903005879697155

電子放出素子の製造方法、および電子源と画像形成装置の製造方法

発明者： 神代 和浩
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003185
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200544
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 良好な電子放出特性を有する電子放出素子の製造方法を提供する。【解決手段】 基体上に一対の電極と電子放出部を有する導電性薄膜を有する電子放出素子の製造方法において、前記基体に有機金属とその有機金属の熱分解によって生成する金属微粒子の二次凝集を抑制するための金属微粒子分散剤とを含有する有機金属含有水溶液を付与する工程と、前記基体に付与された有機金属溶液を熱分解して導電性薄膜を形成する工程を有する電子放出素子の製造方法。

請求項（抜粋）：

基体上に一対の電極と電子放出部を有する導電性薄膜を有する電子放出素子の製造方法において、前記基体に有機金属とその有機金属の熱分解によって生成する金属微粒子の二次凝集を抑制するための金属微粒子分散剤とを含有する有機金属含有水溶液を付与する工程と、前記基体に付与された有機金属溶液を熱分解して導電性薄膜を形成する工程を有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。