特許
J-GLOBAL ID：200903005881017919
レーザプラズマX線源用ターゲツト
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-284698
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119199
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：
【要約】【目的】 レーザプラズマX線源において、レーザ光の照射によって生成されたプラズマから放出されるイオンおよびデブリの量を抑える。また、ターゲットの交換作業の簡易化をはかる。【構成】 高融点材1に、集光されるレーザ光のスポット径よりも小さい穴を多数個設けた。そして、それぞれの穴に同一のあるいは何種類かの異なるターゲット材2を埋め込んだ。
請求項（抜粋）：
高融点材に多数個あけたレーザ集光径より小さい穴のそれぞれに、同一のあるいは異なる何種類かのターゲット材が埋め込まれていることを特徴とするレーザプラズマX線源用ターゲット。
IPC (3件)：
G21K 5/08
, H05G 2/00
, H05H 1/24
