特許

J-GLOBAL ID：200903005881241380

カラーフィルタの突起の高さ計測方法

発明者： 愛甲 健二 ,  高橋 勉 ,  寺西 玲 ,  秋山 芽和 ,  小泉 光義
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-040464
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210632
出願日： 1996年02月02日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルタに存在する突起の高さを高精度で計測する。【解決手段】 [S]偏光のレーザビームLT を、カラーフィルタ1の表面Bに対して投射角θT で投射し、カラーフィルタ1をΔxづつステップ移動し、ステップ移動ごとに、表面Bの反射光SB と突起Tの散乱光ST とを、受光角θR(=θT)をなす受光系の[P]偏光板に入射して[P]偏光成分を選択し、結像レンズにより、表面Bと突起Tの稜線Rとの画像をCCDイメージセンサに順次に結像し、両画像を処理して表面Bのベース線B’と稜線Rの輪郭線とをそれぞれ抽出して、ベース線B’に対する各稜線Rの高さhを逐次に算出し、各高さhの最大値hmax を求めて突起Tの高さとする。

請求項（抜粋）：

[S]偏光のレーザビームを、カラーフィルタの表面に対して(30±5)°の投射角で投射し、該レーザビームの投射方向に対して対称的な(30±5)°の受光角をなす受光系を設け、該カラーフィルタをX方向に適当な間隔Δxづつステップ移動し、該ステップ移動ごとに、該表面の反射光SB と、該表面に存在する突起Tの散乱光ST とを、該受光系の[P]偏光板に入射して[P]偏光成分を選択し、結像レンズにより、該表面と該突起TのY方向の稜線とのそれぞれ画像をCCDイメージセンサに順次に結像し、該結像した両画像を画像処理して、該表面のベース線と該稜線の輪郭線とをそれぞれ抽出して、該ベース線に対する該各稜線の高さhを逐次に算出し、該各高さhの最大値hmax を求めて該突起Tの高さを計測することを特徴とする、カラーフィルタの突起の高さ計測方法。

IPC (4件)：

G01B 11/02 ,  G02F 1/1335 505 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/60

FI (4件)：

G01B 11/02 H ,  G02F 1/1335 505 ,  G06F 15/62 380 ,  G06F 15/70 350 Z