特許
J-GLOBAL ID：200903005889460358
弾性表面波装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-171846
公開番号（公開出願番号）：特開2000-013165
出願日： 1998年06月18日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 ボンディング接合強度が十分で、ウエーハプローブで検査できる歩留まりの低下のない弾性表面波装置を提供する。【解決手段】 圧電基板1上にアルミニウム膜を形成し、パターニングしてインターデジタルトランスデューサ2の電極3,4、反射器電極6およびボンディングパッド5を互いに同電位に接続する焦電対策ライン7とともに形成する。インターデジタルトランスデューサ2の電極3,4、反射器電極6をレジストで被覆し、アルミニウム膜を積層させる。ボンディングパッド5をレジストにて被覆すし、焦電対策ライン7を電気的に分離するとともにアルミニウム膜をエッチングし、レジストを除去する。
請求項（抜粋）：
焦電性を有する基板と、この基板上に第1の導電性金属層で形成された励振電極および反射器電極と、前記基板上に、前記励振電極および反射器電極とを電気的に同電位にする焦電対策ラインとともに第1の導電性金属層が形成され、この第1の導電性金属層の少なくとも一部にこの第1の導電性金属層に第2の導電性金属層が積層され、この第2の導電性金属層が形成された後に前記焦電対策ラインとはエッチングにより電気的に分離するとともに形成されたボンディングパッドとを具備したことを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
5J097AA27
, 5J097AA32
, 5J097DD25
, 5J097HA07
, 5J097JJ08
, 5J097KK09
