特許
J-GLOBAL ID：200903005891322256
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-304820
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159776
出願日： 1994年12月08日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】出力の経時劣化がなく、精度の良い振動振幅制御が可能な角速度センサを提供すること。【構成】ある直交座標系の第1軸及び第2軸座標で規定される基板面に平行な第1平面内に於ける振動系(i)を構成し、振動質量を第1方向に静電引力を用いて駆動するための基板に固定された駆動用電極(ii)を備え、振動質量または振動質量に第1支持部を介して接続された接続部の直交座標系に於ける第2軸方向の変位を振動質量または接続部との電気容量値変化として検出する基板に固定された検出電極(iii)を備え、振動質量を駆動用電極を介して第1軸方向に駆動する手段を備え、振動質量または接続部の第2軸方向の変位を検出電極を介して検出する手段を備え、振動質量を第1軸方向に振動駆動し第2軸方向のコリオリ力を検出することにより直交座標系の第3軸方向の角速度を測定することを特徴とする角速度センサとすること。
請求項（抜粋）：
共通電位を有する4つの構成要素、(a) 振動質量、(b) 直交座標系の第1軸方向には変位可能で前記直交座標系の第2軸方向には充分な剛性を有する第1支持部、(c) 前記直交座標系の第2軸方向には変位可能で前記直交座標系の第1軸方向には充分な剛性を有する第2支持部、(d) 第1支持部と第2支持部の接続部を備え、振動質量を第1支持部で支持し、第1支持部と第2支持部を接続部で接続し、基板に固定した第2支持部を接続部に接続し、前記振動質量、第1支持部及び接続部を第2支持部で支持することにより、ある直交座標系の第1軸及び第2軸座標で規定される前記基板面に平行な第1平面内に於ける振動系(i)を構成し、前記振動質量を前記第1方向に静電引力を用いて駆動するための前記基板に固定された駆動用電極(ii)を備え、前記振動質量または前記振動質量に前記第1支持部を介して接続された前記接続部の前記直交座標系に於ける第2軸方向の変位を前記振動質量または前記接続部との電気容量値変化として検出する前記基板に固定された検出電極(iii)を備え、前記振動質量を駆動用電極を介して第1軸方向に駆動する手段を備え、前記振動質量または前記接続部の第2軸方向の変位を検出電極を介して検出する手段を備え、前記振動質量を前記第1軸方向に振動駆動し前記第2軸方向のコリオリ力を検出することにより前記直交座標系の第3軸方向の角速度を測定することを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
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