特許

J-GLOBAL ID：200903005893146994

露光装置内ユニットの輻射冷却方法及び輻射冷却装置

発明者： 原 真一 ,  三宅 明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-259536
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068626
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：

【要約】【課題】 露光装置内ユニットを輻射により非接触で冷却し、震動の伝達を小さく抑え、他の部材を不必要に冷やさずにユニットの温度調節を行う。【解決手段】 露光装置内のユニットとして基板用ステージである微動ステージ1を冷却対象とし、輻射で冷却する時に、微動ステージ1に対して非接触のペルチェ素子4を冷却板として用い、このペルチェ素子4の裏面を、配管8にて冷却水9が供給され基準温度に保たれる冷却ブロック7によって一定温度に冷却する。

請求項（抜粋）：

露光装置内のユニットを輻射で冷却する時に、冷却板として前記ユニットに対して非接触のペルチェ素子を用いることを特徴とする輻射冷却方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  F25B 21/02 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

F25B 21/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 H ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (5件)：

5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC16 ,  5F046DA26