特許

J-GLOBAL ID：200903005893896470

アルゴンガスの精製方法及び装置

発明者： 菱沼 一弘
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-288195
公開番号（公開出願番号）：特開平7-138007
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：

【要約】【目的】 数少ない工程で確実に不純物を除去することができるアルゴンガスの精製方法及び装置を提供する。【構成】 一酸化炭素,水素,酸素,窒素等の少量の不純物を含むアルゴンガスを精製するにあたり、触媒反応工程4で、前記不純物含有アルゴンガスをパラジウム又は金触媒に接触させて含有する一酸化炭素及び水素と酸素とを反応させて二酸化炭素及び水に変換した後、第1吸着工程5で、常温でゼオライトからなる吸着剤層を通して前記反応で生成した二酸化炭素及び水を吸着除去し、次いで、第2吸着工程6で、-10〜-50°Cでゼオライトからなる吸着剤層を通して窒素及び未反応の一酸化炭素を吸着除去する。

請求項（抜粋）：

一酸化炭素,水素,酸素,窒素等の少量の不純物を含むアルゴンガスを精製する方法において、前記不純物含有アルゴンガスをパラジウム又は金触媒に接触させて含有する一酸化炭素及び水素と酸素とを反応させて二酸化炭素及び水に変換した後、常温でゼオライトからなる吸着剤層を通して前記反応で生成した二酸化炭素及び水を吸着除去し、次いで、-10〜-50°Cでゼオライトからなる吸着剤層を通して窒素及び未反応の一酸化炭素を吸着除去することを特徴とするアルゴンガスの精製方法。