特許
J-GLOBAL ID：200903005901782587
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯塚 雄二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-321095
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138198
出願日： 1995年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 被検査面上の半透明の異物や低段差の異物などの種々の欠陥を確実に検出できる欠陥検査装置を提供すること。【課題を解決するための手段】 周波数の異なる2つの光(500a、500b)を被検査面(40)に対して相対的に走査させ、例えば、被検査面(40)を透過した周波数の異なる2つの光の位相差の変化に基づいて被検査面上(40)の欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
被検査面上の欠陥を検出する欠陥検査装置において、周波数の異なる2つの光を発生させる2周波数光発生手段と;前記2つの光と前記被検査面とを相対的に走査させる走査手段と;前記被検査面上で走査された前記2つの光に基づいて前記被検査面上の欠陥を検出する第1欠陥検出手段と;前記被検査面上において発生する散乱光を検出し、該散乱光に基づいて前記被検査面上の欠陥を検出する第2欠陥検出手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 F
, H01L 21/66 J
