特許

J-GLOBAL ID：200903005902522198

スパッタ装置

発明者： 米田 芳久
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-153986
公開番号（公開出願番号）：特開平8-325719
出願日： 1995年05月29日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：

【要約】【目的】 ターゲットへのスパッタ粒子の再付着を防止しダスト発生を抑制したスパッタ装置を提供する。【構成】 バッキングプレート2上にターゲット1を保持したスパッタ装置において、上記バッキングプレート2のターゲット保持部3の外形がターゲットの外形と一致しているかまたはそれより大きい。

請求項（抜粋）：

バッキングプレート上にターゲットを保持したスパッタ装置において、上記バッキングプレートのターゲット保持部の外形がターゲットの外形と同じかまたはそれより大きいことを特徴とするスパッタ装置。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/35 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

FI (5件)：

C23C 14/34 C ,  C23C 14/34 B ,  C23C 14/35 E ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S