特許
J-GLOBAL ID：200903005909810687

ドーナツ状ガラス基板のエッチング方法

発明者：
宮原 修

宮原 修 について

, 
金子 正己

金子 正己 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (3件)： 泉名 謙治 ,  小川 利春 ,  山本 量三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-290505
公開番号（公開出願番号）：特開2006-188410
出願日： 2005年10月03日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：
【課題】多数のドーナツ状ガラス基板の内周端面を一度にエッチング処理できる方法を提供する。【解決手段】中央に円孔を有する複数枚のドーナツ状ガラス基板1を、前記円孔で円筒孔が形成されるように揃えて積層し、この積層された複数枚のドーナツ状ガラス基板の内周端面を該エッチング液またはエッチングガスにより同時にエッチング処理する方法であって、前記複数枚のドーナツ状ガラス基板が積層された積層体の両端のドーナツ状ガラス基板の露出した主表面に触れさせることなくエッチング液またはエッチングガスを前記円筒孔の一端から供給しその内部を流動させて円筒孔の他端から排出させるドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
中央に円孔を有する複数枚のドーナツ状ガラス基板を、前記円孔で円筒孔が形成されるように揃えて積層し、この積層された複数枚のドーナツ状ガラス基板の内周端面をエッチング液またはエッチングガスにより同時にエッチング処理する方法であって、前記複数枚のドーナツ状ガラス基板が積層された積層体の両端のドーナツ状ガラス基板の露出した主表面に触れさせることなくエッチング液またはエッチングガスを前記円筒孔の一端から供給しその内部を流動させて円筒孔の他端から排出させることを特徴とするドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
IPC (2件)：
C03C 15/00 ,  G11B 5/84
FI (2件)：
C03C15/00 Z ,  G11B5/84 A
Fターム (15件)：
4G059AA09 ,  4G059AB03 ,  4G059AB05 ,  4G059AC03 ,  4G059AC16 ,  4G059BB01 ,  4G059BB04 ,  4G059BB15 ,  4G059BB16 ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA03 ,  5D112GA20 ,  5D112GA27
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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