特許

J-GLOBAL ID：200903005914323875

金属薄膜の製造方法

発明者： 平尾 浩二郎 ,  沢渡 義規 ,  日高 淳一
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038448
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239843
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】【課題】 段差被覆性が良好で均一な金属薄膜を効率よく得ることができる方法を提供する。【解決手段】 βジケトネート金属錯体を有機溶媒に溶解させたβジケトネート金属錯体溶液を加熱気化させた原料ガスを、所定温度に加熱した基板上に供給し、該基板上で前記βジケトネート金属錯体を分解して基板上に金属薄膜を成膜する。

請求項（抜粋）：

βジケトネート金属錯体を有機溶媒に溶解させたβジケトネート金属錯体溶液を加熱気化させた原料ガスを、所定温度に加熱した基板上に供給し、該基板上で前記βジケトネート金属錯体を分解して基板上に金属薄膜を成膜することを特徴とする金属薄膜の製造方法。

IPC (2件)：

C23C 16/18 ,  H01L 21/285

FI (2件)：

C23C 16/18 ,  H01L 21/285 C

Fターム (8件)：

4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4M104BB30 ,  4M104DD43 ,  4M104DD45 ,  4M104FF18