特許

J-GLOBAL ID：200903005918111414

振動式角速度センサ

発明者： 花村 昭宏
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-303905
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159174
出願日： 1993年12月03日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】製造プロセスの簡素化により量産化及び低価格化を図ると共に、低周波数高感度のセンサの実現を可能とする。また、過大な入力角速度によるセンサ素子破損の防止を図る。【構成】錘部13とその両側に薄肉の梁部12を形成しダイヤフラム構造となし、錘部13の変位に応じて撓む梁部12にピエゾ抵抗素子14を設けた半導体基板11と溝16を設けたガラス基板15とを接合してセンサ素子17を構成し、このセンサ素子17に、錘部13の変位方向と直角な方向にセンサ素子17全体を振動させる圧電素子18を取り付ける。これにより、前記錘部13の変位方向及び圧電素子18による振動方向に対して直角方向の回転軸回りの角速度を検出する。また、センサ出力をフィードバックし基準電圧とセンサ出力との差分で圧電素子17を励振する構成とすことで、過大角速度入力によるセンサ破損を防止する。

請求項（抜粋）：

変位可能な質量部及び該質量部の変位を検出する検出部を有するセンサ素子と、前記質量部の変位方向と直角な方向に前記センサ素子全体を振動させる圧電素子とを備えて構成され、前記質量部の変位方向及び前記圧電素子による振動方向に対して直角方向の回転軸回りの角速度を検出することを特徴とする振動式角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04