特許
J-GLOBAL ID：200903005922748338
分光器の回折格子角度-波長特性誤差測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275857
公開番号（公開出願番号）：特開平5-118922
出願日： 1991年10月24日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 回折格子を用いる光分器を高精度、かつ安価に構成することを可能とする。【構成】 白色光源27からの光をファブリーペロー干渉系(エタロン)29に入射して既知の離散的な複数の波長λn (n=0,1,2,...)よりなる基準光を発生し、この基準光を分光器11で分光する。その時の分光結果λn ′と基準光の対応する波長λn との差から、設定指令波長λに対する回折格子16の理論値回転角度αに対するずれ(誤差)gn を求め、gn とgn-1 との間の角度誤差を補間し、波長λに対する角度誤差gを求め、設定波長λに対する回転角度αをgだけ補正して回折格子16に対する制御指令とする。
請求項（抜粋）：
回折格子を回転することによって波長掃引を行う分光器の上記回折格子角度-波長特性の理論値からの誤差を測定する方法において、上記分光器の可変波長範囲内で飛び飛びの予め決めた複数の波長からなる基準光を、上記分光器に入射してその基準光を上記回折格子で分光し、その分光により得られた各検出波長の上記基準光中の対応する波長からのずれを求め、その求めたずれから、その波長と対応した上記回転格子の回転角度の理論値からの誤差を求めることを特徴とする分光器の回折格子角度-波長特性誤差測定方法。
引用特許：
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