特許

J-GLOBAL ID：200903005930751372

露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 山口 欣也
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-066187
公開番号（公開出願番号）：特開2001-257148
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 投入電力値を繰り返し切り替えることによって放電灯の寿命が短縮するのを防止する。【解決手段】 露光光源としての放電灯1と、この放電灯を制御する制御手段37とを備え、制御手段は放電灯に投入する電力の値を繰り返し切り替える露光装置において、制御手段は、前記電力値の切替えを、所定の単位時間当たりの電力値の増加または減少量が所定の値以下となるように電力値の変化を制御しながら行う。

請求項（抜粋）：

露光光源としての放電灯と、この放電灯を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は前記放電灯に投入する電力の値を繰り返し切り替える露光装置において、前記制御手段は、前記電力値の切替えを、所定の単位時間当たりの電力値の増加または減少量が所定の値以下となるように電力値の変化を制御しながら行うものであることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22

FI (2件)：

G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 515 C

Fターム (6件)：

5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA02 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01