特許
J-GLOBAL ID：200903005930995190
導波管およびカーボン系薄膜生成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-321950
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176916
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】マルチパクタ放電が起きにくい、大出力マイクロ波伝送・放射に適した導波管を提供すること。【構成】電磁波を伝送し、放射する導波管7において、上記電磁波を伝搬する内部に水素11aおよび気体の炭素化合物11bのガスプラズマを作り、内面に化学的気相成長法でカーボン系薄膜13を形成したものである。
請求項（抜粋）：
電磁波を伝送し、放射する導波管において、上記電磁波を伝搬する内部に水素および気体の炭素化合物のガスプラズマを作り、内面に化学的気相成長法でカーボン系薄膜を形成したことを特徴とする導波管。
IPC (5件)：
H01P 3/12
, C23C 16/26
, C23C 16/50
, G21B 1/00
, H01P 11/00
