特許

J-GLOBAL ID：200903005932573781

金属抵抗体歪ゲージ

発明者： 簑島 建司
出願人/特許権者： エヌオーケー株式会社
代理人 (1件)： 吉田 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-180337
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014302
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】 ダイアフラム上を絶縁膜で被覆し、この絶縁膜上に金属抵抗体ゲージ薄膜、バインダー薄膜および電極膜を順次形成させた金属抵抗体歪ゲージにおいて、耐湿性を向上せしめたものを提供する。【解決手段】 バインダー薄膜として高融点金属のけい素化物薄膜を用いる。

請求項（抜粋）：

ダイアフラム上を絶縁膜で被覆し、該絶縁膜上に金属抵抗体ゲージ薄膜、バインダー薄膜および電極膜を順次形成させた金属抵抗体歪ゲージにおいて、バインダー薄膜として高融点金属のけい素化物薄膜が用いられた金属抵抗体歪ゲージ。

IPC (4件)：

G01B 7/16 ,  C23C 14/06 ,  G01L 1/22 ,  G01P 15/12

FI (4件)：

G01B 7/18 G ,  C23C 14/06 E ,  G01L 1/22 M ,  G01P 15/12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-114247
  
• 特開昭55-159102
  
• 特開昭56-112602