特許
J-GLOBAL ID：200903005932994329
高周波加熱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
猪股 祥晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-197313
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101291
出願日： 1995年08月02日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【課題】プラズマ粒子による大きな熱負荷に耐え、かつ高性能で製作が容易な高周波加熱装置を提供すること。【解決手段】複数個の矩形状導波管7を配列し結束した導波管束8からなる高周波結合系を備えた高周波加熱装置において、導波管7を長辺部材7aと短辺部材7bとで矩形状に形成し、また長辺部材7aと短辺部材7bの先端部に耐熱性導電材料の端板9を接続し、さらに各端板9を合わせて固着面とした導波管7を形成する。このように導波管7の先端部が耐熱性導電材料で形成されているので、プラズマからの熱負荷に耐えて損傷もなく効率良く運転ができ、また製作が容易な高周波加熱装置を提供できる。
請求項（抜粋）：
高周波発振装置で発振した電磁波を伝送する高周波伝送系と、この高周波伝送系に接続した高周波結合系とを備えた高周波加熱装置において、前記高周波結合系は複数個の矩形状導波管が結束された導波管束からなり、前記導波管の先端部は耐熱性導電材料により形成されてなることを特徴とする高周波加熱装置。
IPC (4件)：
G21B 1/00
, H01P 1/30
, H01P 3/12
, H05H 1/18
