特許
J-GLOBAL ID：200903005933882290
ペリクル
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-180504
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003807
出願日： 1992年06月16日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 目視検査の際付着異物を発見しやすい粘着剤層を枠内側面に形成されたペリクルを提供する。【構成】 内側面に粘着剤層が形成されたペリクル枠とその枠の一側面に張設される薄膜からなるペリクルにおいて、ペリクル枠内側面に形成された粘着剤層が光沢のある表面を有するペリクル。
請求項（抜粋）：
内側面に粘着剤層が形成されたペリクル枠とその枠の一側面に張設される薄膜からなるペリクルにおいて、ペリクル枠内側面に形成された粘着剤層が光沢のある表面を有することを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
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