特許
J-GLOBAL ID：200903005940810636
基板位置検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-314368
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142381
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】本発明は、基板上に形成された複数のマークを画像処理してマークの中心位置を検出する位置検出方法において、マークの位置検出精度を向上すると共に誤検出を未然に防止し得る。【構成】平均強度値からなるデータD1の微分値のデータD2の極大値KA、KB、KC又は極小値Ka、Kbのいずれか一方を用いて、複数のマークそれぞれのエツジの位置を求め、そのマークそれぞれのエツジの位置に応じて求めたマークエツジグループの位置に、マーク幅の1/2を加算又は減算して前記マークグループの位置を求めるようにしたことにより、マークの一方のエツジが鈍つている場合でも確実にかつ高い精度でマークグループの位置を検出し得る。
請求項（抜粋）：
基板上に帯状形状を有する複数のマークが並べられて形成されたマークグループを撮像し、該撮像結果でなる画像の各走査線又はコラム毎の平均強度値からなるデータに応じて前記マークグループの位置を求め、該マークグループの位置より前記基板の位置を検出する基板位置検出方法において、前記平均強度値からなるデータの微分値に関するデータを前記各走査線又は前記コラムに応じて求め、該微分値に関するデータから前記マークの数と同数の極大値どうし又は極小値どうしを1グループとする組合せを全て作り、該グループの中から前記極大値どうし又は前記極小値どうしの間隔が、前記複数のマークの間隔と同等の前記グループをマークエツジグループ候補とし、該マークエツジグループ候補における前記極大値又は前記極小値と、該極大値又は該極小値に対応する前記走査線又は前記コラムの番号とを記憶し、該記憶された前記マークエツジグループ候補の前記極大値又は前記極小値の絶対値をそれぞれ求め、前記マークエツジグループ候補の前記各グループ内で、前記絶対値の最小の値を該グループの代表値とし、該代表値が最大の前記マークエツジグループ候補をマークエツジグループとし、該グループ内の前記各極大値又は前記各極小値のそれぞれに対応する前記走査線又は前記コラムの番号を前記マークそれぞれのエツジの位置とし、該マークそれぞれのエツジの位置に基づいて前記マークエツジグループの位置を線形結合によつて求め、該位置に前記マークのマーク幅の1/2を加算又は減算して前記マークグループの位置を求めるようにしたことを特徴とする基板位置検出方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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