特許

J-GLOBAL ID：200903005940882300

ラビング装置及びそれを用いて製造した液晶表示素子

発明者： 赤塚 實 ,  白倉 広文 ,  佐藤 雄一郎
出願人/特許権者： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-152634
公開番号（公開出願番号）：特開平5-323322
出願日： 1992年05月20日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】液晶用の基板をラビング後、基板をステージから引き上げる時に、スパーク放電により電極、能動素子、配向膜等が損傷を受けることを防ぐ。【構成】ラビング装置のステージ1上に置かれた基板4上の電極の一端あるいは専用のパッドに、アースに接続された探針6を接触させながら、基板を引き上げる機構がついたラビング装置。特に、イオナイザー3の併用をすることが好ましい。

請求項（抜粋）：

所定の電極パターンが形成された電極付きの基板をステージ上に配置してその表面をラビングすることにより配向制御を行うラビング装置において、ラビング後に基板上の電極パターンの一端あるいはその電極パターンに接続された専用のパッドをアースに接続された導体に接触させながら、基板をステージより引き離す機構を設けたことを特徴とするラビング装置。